초순수제조

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초순수제조장치

전기적 비저항(Electric Resistivity)의 측면에서 볼 때 최상치 18.3MEGA.ohm.cm의 순도를 가진 물을 의미합니다.
초순수의 사용에 따라서 TOC, PARTICLE, 미생물, 미립입자, METAL을 완전 제거하는 것으로 그 관리치는 ppb 또는 ppt로 관리하는 것을 원칙으로 설계 및 시공합니다.

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